反射式高能電子衍射

反射式高能電子衍射是指採用30～50kV的電子槍加速電壓，電子波長範圍在0.00698～0.00536nm之間，用這樣能量的平行電子束以小於1°的掠射角入射樣品的表面。

反射式高能電子衍射(RHEED)。RHEED也能以與LEED相當的靈敏度檢測表面結構。

反射式高能電子衍射是一種研究晶體外延生長、精確測定表面結晶狀態以及表面氧化、還原過程等的有效分析手段。近年來，由於接收系統的改進，在多功能表面分析儀中RHEED和LEED都能進行,使表面結構的研究更為方便。