半導體製造系統智慧型調度

本書以半導體製造系統為研究對象，在全面分析其調度特點的基礎上，詳細解剖、分析半導體製造系統各類調度問題，運用智慧型化方法設計了相應的求解方案，並通過實例給出了各類調度問題智慧型化解決方案的實際使用方法。本書在認真總結國內外多年的半導體製造系統智慧型調度研究成果的基礎上，結合作者多年在製造系統智慧型調度，特別是半導體製造系統智慧型調度領域的研究與套用成果，對複雜的半導體製造系統智慧型調度問題從理論到方法再到套用進行了全方位、系統化的論述。

第1章概述1

1.1半導體製造過程1

1.2半導體生產線運作總體框架7

1.2.1物理系統7

1.2.2信息系統10

1.3半導體生產線調度11

1.3.1調度特點11

1.3.2調度類型與調度方法13

1.3.3評價指標16

1.4半導體製造系統調度體系結構18

1.4.1組件化可重構半導體生產線調度體系結構19

1.4.2半導體生產線調度仿真系統通用結構模型21

1.4.3基於數據的動態建模方法23

1.4.4組件化半導體生產線調度仿真系統24

1.5小結27

第2章智慧型化調度方法28

2.1計算智慧型簡介28

2.1.1計算智慧型起源28

2.1.2計算智慧型的分類及特點29

2.2遺傳算法30

2.2.1遺傳算法簡介30

2.2.2遺傳算法求解流程31

2.2.3基於遺傳算法的單機調度問題求解35

2.3免疫算法36

2.3.1免疫算法簡介37

2.3.2免疫算法基本流程38

2.3.3基於免疫算法的多目標柔性作業車間調度問題求解39

2.4分布估計算法41

2.4.1分布估計算法簡介41

2.4.2分布估計算法基本流程43

2.4.3基於分布估計算法的流水車間調度44

2.5蟻群最佳化算法46

2.5.1蟻群最佳化算法簡介46

2.5.2蟻群最佳化算法模型及基本流程47

2.5.3基於蟻群最佳化算法的作業車間調度問題求解48

2.6Memetic算法50

2.6.1Memetic算法簡介50

2.6.2Memetic算法求解流程50

2.6.3基於Memetic算法的車間動態調度問題求解55

2.7小結57

第3章智慧型化投料控制策略58

3.1概述58

3.1.1常用投料控制策略59

3.1.2改進的投料控制策略65

3.2混合智慧型最佳化投料控制策略66

3.2.1基於混合智慧型算法的投料控制68

3.2.2混合智慧型算法運行效果及性能分析73

3.3基於Memetic算法的投料控制策略77

3.3.1Memetic算法及SBOI平台介紹77

3.3.2基於SBOI平台的投料控制實例79

半導體製造系統智慧型調度

基本介紹

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