化學氣相澱積與無機新材料

《化學氣相澱積與無機新材料》是1984年科學出版社出版的圖書，作者是孟廣耀。

基本介紹

• 書名：化學氣相澱積與無機新材料
• 作者：孟廣耀
• 出版社：科學出版社
• 出版時間：1984年4月

內容簡介

化學氣相澱積是一全催種製備無機材料的新技術．本書詳細敘述了化學氣相澱積的基本原理和操作工藝，討論了澱積汽擔祖過程熱力學、動力學、表面過程機理以及生長層質量與淀習承敬台積戒判籃參數的關係等問題．此外，本書還介紹了化學氣相埋膠祝澱積法在新材料、新技術領域中的套用．

本書可供從事元盛跨無機材料研究的科技工作者和高等院校師生參考．

圖書目錄

前言

第一章 一般化學原理和技術

第二章 氣態再檔舉埋物種的輸運

第三章 化學氣相澱積系統的熱力學

第四章 澱積過程動力學

第五章 表面過程機理

第六章 影響澱積層質量的因素

第七章 化學氣相澱積和新材料、新技術

參考文獻