基本介紹
- 中文名:勻膠
- 外文名:Spin-on PR Coating
- 別名:旋轉塗膠
- 分滴。當矽片靜止或旋轉得非常緩慢時,光刻膠被分滴在矽片上。
- 旋轉鋪開。快速加速矽片的旋轉到一高的轉速(rpm)使光刻膠伸展到整個矽片表面。
- 旋轉甩掉。甩去多餘的光刻膠,在矽片上得到均勻的光刻膠膠膜覆蓋層。
- 溶劑揮發。以固定轉速繼續旋轉已塗膠的矽片,直至溶劑揮發,光刻膠膠膜幾乎乾燥。
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光刻工藝的基本步驟之一,也被稱為旋轉塗膠或甩膠,成底膜處理後,矽片要立即採用旋轉塗膠的方法塗上液相光刻膠材。...
勻膠機是在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地塗覆在基片上的設備,膜的厚度取決於勻膠機的轉速和溶膠的黏度。...
勻膠鉻版是一種硬面光掩模材料,即光掩膜基版,它是當前及未來微細加工光掩膜製作的主流感光材料(相當於照相用的感光膠捲)。它是在平整的、高光潔度的玻璃基版...
勻膠顯影機是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設備,包括光刻材料的塗布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用於浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。...
智慧型程控勻膠機是高精密的旋轉塗膜儀。主要為高等院校、科研院所、研發中心等進行研究,開發各種功能薄膜所用。適用於半導體矽片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃、生物...
簡介電腦控制,可預置並記憶轉速,控制轉盤均勻加速;旋轉時間預置,到時,控制轉盤均勻減速。勻膠機spincoater旋塗儀(司樂機器) 轉速高:300–8000轉/分.(100轉/步,...
旋塗是旋轉塗抹法的簡稱,是有機發光二極體中常用的製備方法,主要有設備為勻膠機。旋塗法包括:配料,高速旋轉,揮發成膜三個步驟,通過控制勻膠的時間,轉速,滴液量...
勻膠機又稱旋塗機、甩膠機、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機、旋轉塗層機、旋轉塗布機、真空鍍膜機,其總體由在國際上SOL-GEI技術領先的美國凱美特技術公司(CHEMAT ...
WS-650S,WS-400B系列勻膠機 具體型號(訂購代買為MSC-650和MSC-400B):◆WS-400B系列勻膠機:※ NPP材質的6英寸勻膠機,MYCRO WS-400B系列型號:...
顆粒測試用來測試勻膠顯影機中與晶圓直接接觸的工藝單元的清潔程度。...... 顆粒測試用來測試勻膠顯影機中與晶圓直接接觸的工藝單元的清潔程度。 [1] ...
噴嘴用來供應光刻膠和各種有機溶劑,每一個噴嘴對應一種材料,如圖1所示。在整個光刻工藝中,除了曝光,其餘所有的步驟都是在勻膠顯影機中完成的。勻膠顯影機的主要...
2013年 – 至今: 中國科學院微電子研究所研究員、博士生導師;國家科技重大專項“300mm晶圓勻膠顯影設備”首席科學家(瀋陽芯源微電子設備公司),2012年9月入選第八...
芯源公司自主開發的單片勻膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、清洗機、濕法刻蝕機等設備廣泛套用於半導體、先進封裝、MEMS、LED等領域。 1.LED領域勻膠顯影機:套用於...
模壓設備 高精度連續雷射波長計 勻膠機 ---[25] 高性能計算服務設備 曙光高性能計算機 雲存儲系統 雲計算服務平台[25] 館藏資源 重慶...