分室連續PECVD設備自動控制系統

分室連續PECVD設備自動控制系統是由南開大學信息技術科學學院完成的科技成果，登記於2001年10月15日。

基本介紹

• 中文名：分室連續PECVD設備自動控制系統
• 類別：科技成果
• 完成單位：南開大學信息技術科學學院
• 登記時間：2001年10月15日

成果信息

成果名稱	分室連續PECVD設備自動控制系統
成果完成單位	南開大學信息技術科學學院
批准登記單位	天津市科學技術局
登記日期	2001-10-15
登記號	津20010683
成果登記年份	2001

成果完成人

李洪波；任慧志；王宗畔；耿新華；王慶章；張德坤；耿衛東；薛竣明；孫建；胡景康；趙穎；熊紹珍