光掩模極性錯誤

光掩模極性錯誤是指掩模版上的數據圖形透明或不透明的極性製造時發生錯誤，極性做反。

基本介紹

• 中文名：光掩模極性錯誤
• 外文名：error of mask polarity

掩模版上的數據圖形的極性不但與後續工藝有關（如是否被刻蝕掉、剝離工藝中金屬膜是否留下），同時與後續光刻工藝所使用的抗試劑（光刻膠）性質有關（正性還是負性）。

在掩模版製造工藝中一定要注意，如果圖形數據極性不對，需要增加數據反轉處理，否則將會產生廢品。