光刻設備產業技術創新戰略聯盟

光刻設備產業技術創新戰略聯盟於2010年11月10日在上海正式成立，以上海微電子裝備有限公司為依託，由我國從事光刻設備技術研究、整機產品研發、零部件製造以及光刻設備套用等相關產學研用單位在完全自願的基礎上組成。聯盟以光刻設備技術創新、光刻設備研發和產業化為主題組建成立，屬於開放性的非營利性創新組織。

光刻設備產業技術創新戰略聯盟依託“極大規模積體電路製造設備及成套工藝”國家科技重要專項，研究重大光刻設備系列產品，解決光刻設備受到外國政府出口限制、嚴重製約我國積體電路產業發展的難題。該聯盟致力發揮聯盟的產學研用合作優勢，力爭研發完成完整的光刻設備系列產品，支撐我國積體電路產業的發展。