光刻機投影光路

光源發出的光照射在掩模上，掩模和晶圓之間的光路被稱為光刻機投影光路。

基本介紹

• 中文名：光刻機投影光路
• 外文名：Projection optics of scanner

光刻機投影光路的設計主要分為兩類，一類是反射式設計（catoptric），即光路中主要使用反射鏡；另一類是折射式設計（dioptric），即光路中主要使用透鏡。折射式光路是目前大型光刻機的主流設計。