光刻工藝工程師

光刻工藝工程師是專業技術人員。

基本介紹

• 中文名：光刻工藝工程師
• 外文名：lithography process engineer

從積體電路製造中各部門的分工來說，光刻是為工藝集成（process intergration）服務的。最直接支持工藝集成的是光刻工藝工程師（lithography process engineer），又被稱為“layer owner”。一個完整的積體電路製造流程有幾十個光刻層，這些光刻層按技術的類似程度分配給光刻工藝工程師，使得他們分別負責一個或者幾個光刻層。

光刻工藝工程師對所負責的光刻層做工藝參數的設定、最佳化；對工藝穩定性做日常監測，並及時解決出現的技術問題。