修正後殘餘

基於晶圓上參考層對準標識測量的結果，光刻機按模型計算出當前層曝光位置的格線，然後按格線來進行曝光。由於模型的非完整性，儘管曝光格線是由測量數據計算出來的，但是它與實際測量得到的格線仍然有偏差，這個偏差被稱為修正後殘餘（residual overlay performance indicate，ROPI）。

基本介紹

• 中文名：修正後殘餘
• 外文名：residual overlay performance indicate（ROPI）

修正後殘餘（ROPI）值的大小說明雅設懂了修正的有戲坑府旬效性，ROPI越小修幾才宙肯正就越好。ROPI實際上就是套刻誤差，凶婆悼只不過它是由光刻機測量和計算出趨擔束擔定騙來的。由於每一個晶圓上測量的點很多，因此偏差灶套值有一定的分布。