低能粒子散射譜

低能粒子散射譜（Low-Energy In Scattering ,LEIS)利用具有特定能量的惰性氣體離子入射到樣品表面，與樣品表面的原子進行彈性碰撞。根據彈性散射理論，散射離子的能量分布與表面原子的原子量相關。通過對散射離子能量進行分析，就可以得到表面元素組分及表面結構的信息。

基本介紹

• 中文名：低能離子散射譜
• 外文名：Low-Energy In Scattering ,LEIS
• 關鍵字：低能離子散射譜、質譜

介紹

催化反應只發生在材料的最表層。低能離子散射譜（Low-Energy In Scattering ,LEIS)利用具有特定能量的惰性氣體離子入射到樣品表面，與樣品表面的原子進行彈性碰撞。根據彈性散射理論，散射離子的能量分布與表面原子的原子量相關。通過對散射離子能量進行分析，就可以得到表面元素組分及表面結構的信息。低能離子散射譜所獲得的信息來自樣品的最表層，因而是研究表面成分、表面結構以及表面過程的強有力的手段。

低能離子散射譜原理示意圖

特點

1、新型的全方位角離子收集器，可以收集樣品表面特定區域的幾乎全部反射離子。

2、超高的表面靈敏度，信息深度一般在3個原子層之內。

3、良好的定量特性。

4、離子源可以工作在高束流模式和分析模式之間切換，可以對樣品進行清潔和濺射。

5、自動化的真空系統、完善的互鎖裝置，使操作更簡單。

6、最表層原子定量分析。

動態

相比傳統LEIS系統，最新的訊息Qtac-100型低能離子散射譜儀採用新型離子收集器，靈敏度提高3000倍!

套用

1、可以與多種生長設備和其他分析設備集成；

2、可用於單原子層沉積過程和生長動力學研究；

3、可用於分析粗糙表面和絕緣材料分析；

4、可用於於材料催化性能研究；

5、可用於生物材料、半導體材料等性能研究。