能量濾過器

能量濾過器是能夠從具有一定能量分布的離子束中選擇一種特定能量離子的部件。離子束加工較低能量的離子束廣泛用於工業加工，如離子減薄、離子拋光、離子束打孔、離子束刻蝕、離子束濺射金屬膜等。離子束分析具有一定能量的離子與物質相互作用會使其發射電子、光子、X射線等，還可能發生彈性散射、非彈性散射以及核反應。

在離子束分析方法中，比較成熟的有背散射分析X射線螢光分析、核反應分析和溝道效應(見溝道效應和阻塞效應)與其他分析相結合的分析方法等。此外，利用低能離子束還可作表面成分分析,如離子散射譜(ZSS)、次級離子質譜(SZMS)等。超靈敏質譜(加速器質譜)、帶電粒子活化分析、離子激發光譜、離子激發俄歇電子譜等正在發展中。用於離子束分析的MV級加速器已有專門的商業化設備。