低溫傅立葉紅外光譜儀

低溫傅立葉紅外光譜儀是一種用於化學領域的分析儀器，於2008年10月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：低溫傅立葉紅外光譜儀
• 產地：德國
• 學科領域：化學
• 啟用日期：2008年10月30日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器 > 紅外光譜儀

技術指標

檢測單晶矽中三族、五族元素的含量，量程0.05-50ppba，精度±1%±0.05ppba。

主要功能

單晶矽中三族、五族元素的含量。