性質：熔點6℃，沸點156℃(6.7Pa)。純度≥99.99%。是無色可燃液體，對空氣和水是敏感的化合物。製備方法有：(1)五氯化鈮與無水乙醇及高純氨氣反應；(2)無水乙醇與五甲氧基鈮進行酯交換反應；(3)電化學法。採用重結晶法和真空精餾法進行提純。主要用於CVD和Sol-Gel法中製備高純Nb2O5或含Nb2O5組分的多組分氧化物薄膜及粉體的功能材料的前體源。
製備方法有.fl)五氯化銳與無水乙醇及高純氨氣反應;(2)無水乙醇與五甲氧基視進行酷交換反應;[37電化學法。採用重結晶法和真空精餾法進行提純。主要用於t',1' L3和Sol-C e!法中製備高純IVb刃s或含fVh2Us組分的多組分氧化物薄膜及粉體的功能材料的前體源。
