中國感光學會光刻材料與技術專業委員會

中國感光學會光刻材料與技術專業委員會成立於2022年10月19日，是中國感光學會專業委員會之一，由全國科研院所和企事業單位從事光刻材料和光刻技術工作的重要科研人員、管理人員和工程技術人員組成，掛靠單位為中國科學院化學研究所。

基本介紹

• 中文名：中國感光學會光刻材料與技術專業委員會
• 主管單位：中國感光學會

發展歷史

中國感光學會光刻材料與技術專業委員會涉及的學術和技術領域橫跨物理、化學、材料、信息等多個學科專業方向，是國內聚焦光刻相關材料與技術套用的專業學術團體，具有獨特的學術方向和特色，旨在加強在光刻材料與技術研究同套用領域的學術交流，促進相關材料和技術的發展，加快解決半導體產業中關鍵光刻材料與核心技術問題，促進半導體製造業的材料安全和發展。成員中聚集了國內在光刻材料和技術領域的研究、研發和產業力量，將通過專業委員的平台加強學術交流和技術合作，拓展光刻材料與技術的套用領域，促進相關領域中科技成果的轉移轉化。

科研與技術領域

中國感光學會光刻材料與技術專業委員會成員在光刻過程中的化學、物理變化領域開展工作，並以此為基礎發展相關的材料、工藝和套用；交叉融合了有機化學、高分子化學、光化學、光物理、界面化學、化學工程、微納加工技術等諸多學科；涉及到在晶片製造業和其他半導體產業中廣泛使用的各類光刻膠、特殊溶劑、特殊塗層材料、顯影液、清洗液、剝離劑、清除劑以及其他電子化學品，並對光刻材料與技術領域中的基礎科學與前沿技術開展研究、研發工作。

主要任務

中國感光學會光刻材料與技術專業委員會秉承感光學會的精神和職責，著重在涉及光刻材料與技術相關的領域開展綜合交叉學術交流，組織專題研討，促進光刻材料與光刻技術的發展和套用；加強同國內外光刻材料與技術的研究機構與企業、從業人員的聯絡和合作，圍繞晶片製造和半導體產業發展的關鍵核心技術問題和戰略問題開展交流和研討，組織科技工作者為國家戰略需求和產業發展獻計獻策；接受委託，進行相關行業和產業科研項目的諮詢服務等。

組織機構成員

顧問：洪嘯吟，陳寶欽，彭孝軍

主任：楊國強

副主任： 韋亞一，孟永鋼，康勁，姚樹歆，李嫕

秘書長：陳金平

副秘書長：郭旭東

委員: 於天君，馬旭，馬昌期，王力元，王元元，王雙青，毛國平，鄧海，伍廣朋，許從應，許箭，孫鳳霞，李艷秋，吳衍青，張丹，羅鋒，季生象，金明，鄭金紅，趙英博，趙俊，胡睿，段輝高，聶俊，徐宏，曹耀宇，康文兵，董鳳良，曾毅，熊詩聖，薛超凡，魏勁松