《三維結構MOS電晶體技術研究》是2005年9月高等教育出版社出版的圖書，作者是張盛東。
基本介紹
- 書名：三維結構MOS電晶體技術研究
- 作者：張盛東
- ISBN：9787040179385
- 頁數：316 頁
- 定價：21.9
- 出版社：高等教育出版社
- 出版時間：2005-9
- 裝幀：平裝
內容簡介,作者簡介,
內容簡介
本書匯集了作者在三維結構MOS電晶體技術研究方面所取得的主要研究成果。內容涉及背柵、平面雙柵、可分離雙柵MOS以及三維集成MOS器件。在背柵器件部分，主要內容為全自對準背柵MOS電晶體製作技術研究、多晶矽上高質量柵氧化矽生長技術研究以及可用於三維SRAM的高性能背柵器件的研製。在平面雙柵器件部分，主要內容有單晶粒矽膜上自對準雙柵MOS電晶體製作技術研究、多柵/多體MOS電晶體概念、可電分離雙柵 MOS電晶體的自對準加工工藝技術研究以及低溫多晶矽雙柵薄膜電晶體的自對準技術研究。在三維器件部分，主要研究了層疊式共柵CMOS電路構建技術。詳細描述了性能可與體矽或SOI 器件相比擬的高性能三維PMOS負載管以及由此構成的垂直自對準三維CMOS反向器的的製備技術。 本書可作為半導體和微電子專業的高年級本科生和研究生以及積體電路領域技術人員的參考書。
作者簡介
張盛東 1984年7月畢業於東南大學電子工程系，獲工學學士學位。1992年4月畢業於東南大學電子工程系獲工學碩士學位。2002年7月畢業於北京大學計算機科學技術系，獲理學博士學位，畢業論文獲全國優秀博士學位論文獎。1984年7月至1989年8月先後在原航空工業部第625研究所和原電子工業部第55研究所從事矽壓阻式壓力感測器和矽靶攝像器件的研製。1992年5月至1996年9月在原電子工業部國家平板顯示工程中心從事薄膜電晶體（TFT）有源矩陣液晶顯示器的研製，先後擔任多項國家科技攻關項目和國防軍事預研項目的負責人。1996年10月至1998年9月在香港科技大學電機電子工程系進修，從事高壓薄膜SOI器件和多晶矽薄膜電晶體器件與電路技術研究。2002年8月至2003年7月在香港科技大學電機電子工程系從事訪問研究。2003年8月起為北京大學信息科學技術學院副教授，從事 “後CMOS時代的積體電路器件原理、結構和工藝技術” 等領域的研究。
