一種氮化鋁膜的生長方法和套用是由馬鞍山傑生半導體有限公司完成的科技成果，登記於2020年7月6日。
成果名稱 | 一種氮化鋁膜的生長方法和套用 |
成果完成單位 | 馬鞍山傑生半導體有限公司 |
批准登記單位 | 安徽省科學技術廳 |
登記日期 | 2020-07-06 |
登記號 | 2020N993Y004078 |
成果登記年份 | 2020 |
一種氮化鋁膜的生長方法和套用是由馬鞍山傑生半導體有限公司完成的科技成果，登記於2020年7月6日。成果信息成果名稱一種氮化鋁膜的生長方法和套用成果完成單位馬鞍山傑生半導體有限公司批准登記單位安徽省科學技術廳登記日期202...
套用 氮化鋁膜在微電子和光電子器件、襯底材料、絕緣層材料、封裝材料上有著十分廣闊的套用前景。由於它的聲表面波速度高，具有壓電性，可用作聲表面波器件。此外，氮化鋁還具有良好的耐磨損和耐腐蝕性能，可用作防護膜。製備方法 氮化鋁...
氮化鋁（AlN）是一種典型的Ⅲ-Ⅴ族氮化物半導體材料。氮化鋁擁有熱導率高、熱膨脹係數低、介電常數高、抗腐蝕能力強、熱力學穩定性高等優異特性。本書系統、深入地介紹了氮化鋁晶體的基本性質、生長方法和具體套用。全書分為7章：第1...
《氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例》以實例的形式，介紹了用磁控濺射法製備氧化鋅（ZnO）薄膜、氮化鋁（AlN）薄膜和ZnO/AlN複合膜的詳細工藝和性能表征。全書共分8章，第1章主要介紹ZnO的晶體結構、能帶結構、性能與套用；第2章主要...
nm至2438 nm具有0至-9.7 ps^2/km的平坦色散曲線，可以產生譜寬1977 nm的跨倍頻程克爾光頻梳，充分利用了氮化鋁材料寬透射視窗以及具有較高二階非線性係數等特徵，為實現跨倍頻程的氮化鋁微腔光頻梳及其套用提供了新的可能性。
