《氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例》是2015年6月冶金工業出版社出版的圖書，作者是趙祥敏、趙文海。
基本介紹
- 中文名：氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例
- 作者：趙祥敏、趙文海
- ISBN：9787502469177
- 頁數：132頁
- 定價：25元
- 出版社：冶金工業出版社
- 出版時間：2015年6月
- 裝幀：平裝
- 開本：32開
內容簡介,作者簡介,
內容簡介
《氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例》以實例的形式，介紹了用磁控濺射法製備氧化鋅（ZnO）薄膜、氮化鋁（AlN）薄膜和ZnO/AlN複合膜的詳細工藝和性能表征。全書共分8章，第1章主要介紹ZnO的晶體結構、能帶結構、性能與套用；第2章主要介紹AlN的晶體結構、能帶結構、性能與套用；第3章主要介紹ZnO和AlN薄膜的常用製備方法及性能表征手段；第4～6章分別介紹了AIN薄膜、ZnO薄膜、ZnO/AlN複合膜的製備方法與性能表征；第7章主要介紹不同濺射時間下AlN緩衝層對ZnO薄膜的影響；第8章主要介紹退火溫度對N摻雜ZnO薄膜的影響。
《氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例》可供從事薄膜材料、功能材料、半導體材料及其相關器件研究等領域的科研人員、工程技術人員閱讀，也可作為高等院校材料、物理、化學、電子等相關專業師生的參考書籍。
作者簡介
趙祥敏，女，1979年己月出生，就職於牡丹江師範學院工學院。主要講授電子技術基礎、數字電路實驗、模擬電路實驗、信息技術和C語言程式設計、近代物理實驗等課程，教學效果良好。工作期間共發表論文6篇。其中EI檢索1篇。中文核心期刊己篇；出版教材2部；主持校級教改項目1項．參與科研和教改項目10餘項；發明實用經濟型專利3個；牡丹江市第二十四屆自然科學技術學術成果獎二等獎1項，2012～2014年度牡丹江市自然科學技術學帶成果獎一等獎1項．牡丹江市優秀教育科研成果獎一等獎1項，第十二屆全國多媒體課件一等獎1項．牡丹江師範學院優秀教案獎1項。牡丹江師範學院教師課件大賽優秀獎2項。
