X射線感光樹脂指對X射線 敏感的感光樹脂,由於X射線的能量比紫外和可見光高許 多,往往不需要光敏化劑,可以直接使聚合物鏈發生斷裂,引 起聚合物的交聯或降解,但是X射線光刻工藝對設備要求 高,結構複雜而昂貴,因此只在特殊場合下使用。
根據光化學 反應的類型這類樹脂也有正負之分。適用於x射線光刻工 藝的感光樹脂目前使用較多,綜合性能較好的多為聚丙烯酸 醋和聚甲基丙烯酸酚類均聚物或者共聚物。由於x射線的 波長更短,光繞射現象得以抑制,因此解析度更好,這類光刻 膠多用於大規模積體電路的製備。
X射線感光樹脂指對X射線 敏感的感光樹脂,由於X射線的能量比紫外和可見光高許 多,往往不需要光敏化劑,可以直接使聚合物鏈發生斷裂,引 起聚合物的交聯或降解,但是X射線光刻工藝對設備要求 高,結構複雜而昂貴,因此只在特殊場合下使用。
X射線感光樹脂指對X射線 敏感的感光樹脂,由於X射線的能量比紫外和可見光高許 多,往往不需要光敏化劑,可以直接使聚合物鏈發生斷裂,引 起聚合物的交聯或降解,但是X射線光刻工藝對設備要求 高,結構複雜而昂貴,因此只在特殊場...
在此期間,非銀感光材料也開闢了廣闊的套用市場。1950年美國施樂公司生產了第一台靜電複印機,使靜電複印技術得到實際套用。1958年,柯達公司生產了感光樹脂──聚乙烯基月桂酸酯,作為一種光刻膠,首先在印刷製版和石印技術方面得到套用。
非銀感光材料的品種繁多,可按不同的方法進行分類。按照感光層的化學體系分類 按照感光層的化學體系,可分為無機體系(如光敏玻璃、重鉻酸明膠等)、有機體系(如重氮感光材料和高分子體系(如感光樹脂;按照成像過程的特徵,則可分為光...
光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對光敏感的混合液體。在光刻工藝過程中,用作抗腐蝕塗層材...