T型頂

T型頂是顯影工序後抗蝕劑形貌缺陷的一種。

基本介紹

• 中文名：T型頂
• 外文名：T-top Profiles

T型頂的頂部關鍵尺寸比底部的關鍵尺寸大，且具備類似於T型字母的形狀。T型頂主要是因為光強分布導致的頂層感光與底部不同，或者頂部的光致抗蝕劑與環境中的氣氛發生反應導致顯影速率發生變化引起的。T型因為頂部偏大，因此其測量所得的關鍵尺寸會產生很大的誤差，而且容易在頂部形成粘連，同時因為底部關鍵尺寸較小，整個重心偏高，容易發生塌陷，光刻工藝需要儘量避免。

在特殊情況下，T型頂形貌有利於剝離工藝。