Nikon l300N是接口為USBx1，RS232C的CFI目鏡產品。
基本介紹
- 中文名：Nikon l300N
- 接口：USBx1，RS232C
- 目鏡：CFI目鏡
- 物鏡：CFI60系列物鏡
簡介,DIC的觀測,傾斜三目鏡筒,規格參數,
簡介
擁有尼康最先進的光學檢測手段完備的大尺寸液晶顯示器和晶圓。配置300mm晶圓和光罩檢測，L300N滿足平板顯示器後端的檢查，其中包括檢查液晶顯示器的需要。 採用了尼康專有的CFI60光學系統，提供高清晰度，對比度和透射。 增強EPI - 365nm紫外線激發螢光功能，使出色適合半導體殘留在300mm晶圓的檢查和有機電致發光顯示器。
DIC的觀測
L300N採用單稜鏡(Senarmont)系統，該系統能夠在所有放大倍率通過簡單的消防水槍插入一個單一的Nomarski稜鏡的DIC的意見。 DIC的圖像清晰，並與最小的色調明快，即使在低放大倍率。高對比度型DIC的滑塊允許形成DIC的圖像具有更高的靈敏度。
傾斜三目鏡筒
傾斜三目鏡筒是超廣角的視野25毫米類型。 目鏡角度0 °和30 °之間，可設定允許用戶設定自己的最佳視點水平，以確保舒適的觀看姿勢。 兩種類型不同的觀察/照相光學路徑比率：L2 - TT2(100:0 / 20:80)和L2 - TT(100:0 / 0:100)。
規格參數
規格 | ||
ECLIPSE L300N | ECLIPSE L300ND | |
(落射照明型) | (透射/落射照明型) | |
主機 | 內置12V-50W鹵素燈光源；內置用於電動控制器的電源 | |
用於物鏡轉換器的電動控制器、鹵素燈亮度控制、 | ||
光圈葉片控制器 | ||
物鏡轉換器：具備物鏡轉換器 | ||
對中功能的電動通用六座物鏡轉換器 | ||
— | 反射/透射切換器 | |
調焦 部分 | 對焦部:行程29mm | |
粗調:12.7mm/轉(可扭距調節.帶重新對焦機能) | ||
微調:0.1mm/轉(以um為單位) | ||
反射 照明部 | 12V50W高亮度鹵素燈照明裝置 | |
孔徑光闌(電動.可調心)、視場光闌(固定.帶對焦目標) | ||
可插入小孔光闌滑塊(OPTION) | ||
可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4)、起偏器/檢偏器 | ||
觀察方法：明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射螢光 | ||
(僅用於L300N/L300ND/L200ND) | ||
透射 照明部 | — | 12W50W高亮度鹵素燈 照明裝置 |
內置孔徑光闌 | ||
內置LWD聚光器 | ||
接口 | USBx1，RS232C(用於Intensilight)x1 | |
鏡筒 | L2-TTA超大視場正立調傾式三目鏡筒(視角0～30°) | |
視場數25、光分光100：0/0：100 | ||
L2-TT2A超大視場正立調傾式三目鏡筒(俯角0～30°) | ||
視場數25、光分光100：0/20：80 | ||
LV-T13正立三目鏡筒 | ||
視場數25、光分光100：0/0：100 | ||
目鏡 | CFI目鏡 | |
物鏡 | CFI60系列物鏡 | |
載物台 | 14x12載物台、行程354mmx302mm | |
(透射觀察範圍：354mmx268mm) | ||
帶粗/微動切換功能 | ||
微動手輪位置固定 | ||
防靜電 功能 | 從1000到10V放電時間在0.2秒以內 | |
耗電 | 1.2A/90W | |
尺寸 | 約360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時) | |
