從上世紀70年代至今,CCD圖像感測器經過近30年多的發展,在技術和製造工藝上已經成熟並實現了商品化。CCD圖像感測器從最初簡單的8像元移位暫存器發展至今,己具有數百萬至上千萬像元。由於CCD圖像感測器具有很大的潛在市場和廣闊的套用前景,通過國內外專家和公司的不懈努力,CCD圖像感測器的研究套用取得了令人矚目的成果。從1993年德州儀器公司報導1024 X 1024像元虛相CCD開始,CCD像元數己從100萬像元提高到2000萬像元以上。福特空間公司還推出了2048 X 2048,4096 X 4096像元幀轉移CCD。在攝像機方面,日電公司製成了4096 X 5200像元的超高解析度CCD數字攝像機,解析度高達1000 X 1000條TV線。加拿大達爾薩(Dalsa)公司報導了5120 X 5120像元的幀轉移CCD。荷蘭菲利浦成像技術公司研製成功了7000X 9000像元的CCDo 1997年美國EG & G Retion研製出6144 X 6144, 8192 X 8192像元高解析度CCD圖像感測器。亞利桑那大學報導了9126 X 9126像元CCD,1998年日本採用拼接技術開發成功了16384 X 12288像元即(4096 X 3072) X 4像元的CCD圖像感測器。
成像陣列取得了突破性進展,1996年德州儀器的體電荷調製器件((BCMD)圖像感測器陣列達到687(H) X 499(V)像素,奧林巴斯光學公司的CMD圖像感測器達2048(H) X 2048(V)像素。其後,貝爾實驗室、MIT、JPL、Photobit等相繼報導了256 X 256, 512 X 512, 1024 X 1024. 1040 X 1040. 1296 X750像元的CMOS一APS,像元尺寸7.5
mX7.51
m,晶片尺寸為16.3mm X 16.3mm由三個電晶體和一個光電二極體構成。把時鐘電路模組、A/D轉換模組、輸出放大器模組等與感測器陣列集成在一個單片襯底上的研究也在同時進行之中。