基本介紹
- 中文名：AC-63三向力平衡加速度計
- 類型：力平衡型加速度計
- 可選 ：±0.5、±1、±3g
- 滿量程：±2g
基本信息,技術參數,
基本信息
MEMS加速度計採用可變電容器設計，這個可變電容器通過自定義的專用積體電路（ASIC）在閉環結構中操作。這種MEMS加速度計是由4個獨立的薄片結合在一起的疊片。疊片中裡面的兩個薄片，被矽彈簧拴掛，是一種可移動的結構，叫做檢驗質量（proof-mass）。這種組合可在移動的檢驗質量和固定的蓋子（Cap）之間形成可變電容。加速度計受到振動時，檢驗質量在固定的薄片間移動，來回引起不同電容的變化。
為最佳化加速度計的性能，還設計了自定義專用積體電路。當設備感知到電容的改變時，專用積體電路（ASIC）會施加恢復的靜電力以保持檢驗質量在中心位置。產生的反饋力直接和外加的加速度成正比。DC回響允許感測器在現場易於修理、進行傾斜測試和校準。藉助於測試線AC-63加速度計可以完整的被測試，以確保正常運行和精確的加速度測量。
用途：AC-63是為自由場和工業套用中地震強震觀測和振動監測設計的三向加速度計。所有這些套用都需要高動態範圍的、堅固的感測器，且要求維護最少，可以用簡單方法進行周期性的測試。
技術參數
一般特性
套用：需要堅固感測器的地震強震觀測和工業套用
感測器單元
動態範圍：>120dB 在±3g滿量程有效
非線性：<0.1%
滯後： <0.01%
軸向靈敏度：<0.2%
頻寬：DC ～ 100Hz
DC ～ 50Hz或200Hz可選
阻尼： 0.7 臨界
偏移電壓漂移：100 μg/℃
量程漂移：75 ppm/℃
滿量程輸出： 0 ± 10V 差分（20 Vpp）
2.5 ± 2.5V 單端（5 Vpp）
0 ± 5V 差分（5 Vpp）
0 ～ 20mA 電流環路
