ABM高性能紫外光刻機

ABM高性能紫外光刻機是一種用於材料科學領域的計算機及其配套設備，於2014年4月10日啟用。

基本介紹

• 中文名：ABM高性能紫外光刻機
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年4月10日
• 所屬類別：計算機及其配套設備

技術指標

350瓦近紫外6”光源，設有2頻道光強或功率恆定控制裝置。提供可支持6”晶圓曝光的均勻光源。

主要功能

通過開啟紫外光線，將膠片或掩模板上的微細圖像信息轉移到塗有感光物質（光刻膠）的器件表面上，通過顯影、刻蝕、擴散和成膜等工藝製備出特定的圖形結構。