4H-碳化矽納米晶薄膜的製備及其紫外光發射研究

4H-碳化矽納米晶薄膜的製備及其紫外光發射研究

《4H-碳化矽納米晶薄膜的製備及其紫外光發射研究》是依託中國科學技術大學,由楊碚芳擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:4H-碳化矽納米晶薄膜的製備及其紫外光發射研究
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:楊碚芳
  • 依託單位:中國科學技術大學
  • 批准號:69876033
  • 申請代碼:F0401
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:1999-01-01 至 2001-12-31
  • 支持經費:13.9(萬元)
中文摘要
本項目擬用短程結構與4H-SiC相似的納米無機矽化物為矽源,將它分散在有機液體(作為碳源)中,再沉積在單晶矽或其它襯底上,經化學熱解,製得4H-SiC納米晶薄膜,研究其發光特性,旨在製得穩定性好、發光強度高的紫外發光薄膜。該主法和這種發紫外光的SiC納米П∧ぞ醇ǖ饋U舛曰⊙芯浚翱⒕哂幸煨閱艿畝灘ǔす獾繾悠骷加兄匾庖濉

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