納米碳化矽薄膜的製備、稀土摻雜及光電發射特性

納米碳化矽薄膜的製備、稀土摻雜及光電發射特性

《納米碳化矽薄膜的製備、稀土摻雜及光電發射特性》是依託天津理工大學,由劉技文擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:納米碳化矽薄膜的製備、稀土摻雜及光電發射特性
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:劉技文
  • 依託單位:天津理工大學
  • 批准號:10074049
  • 申請代碼:A2001
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2001-01-01 至 2003-12-31
  • 支持經費:19(萬元)
項目摘要
採用射頻磁控濺射隨後退火或襯底原位加熱製備納米米晶及稀土摻雜納米晶碳化矽薄膜,研究生長機理、納米尺度、微結構和界面效應、摻雜種類和密度影響光發射和場發射的規律,通過改變以上條件,消除光發射溫度猝滅效應,提高藍光發射效率;調整電子親和勢,使其具有低閾值、強場發射特性,為發光器件、雷射器件和平板顯示開拓全新的半導體材料。.

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