3D測量雷射共聚顯微鏡

3D測量雷射共聚顯微鏡

3D測量雷射共聚顯微鏡是一種用於材料科學、物理學領域的分析儀器,於2013年10月30日啟用。

基本介紹

  • 中文名:3D測量雷射共聚顯微鏡
  • 產地:日本
  • 學科領域:材料科學、物理學
  • 啟用日期:2013年10月30日
  • 所屬類別:分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 雷射共焦顯微鏡
技術指標,主要功能,

技術指標

1、配置5×、10×、20×、50×和100×物鏡;100×100mm超音波電動載物台;1-8倍光學變焦; 2、放大倍數100×到17200×,水平方向解析度0.12μm,Z軸方向解析度0.8nm; 3、顯微鏡最大視野5120×5120mm;最多可實現500幅圖像自動拼圖。

主要功能

可獲得高分辨的二維表面顯微形貌;可觀察樣品表面亞μm程度(0.2μm)的三維形態和形貌;可測量多種微小尺寸,如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長度、線粗糙度、面粗糙度等等。

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