3D測量雷射共聚顯微鏡是一種用於材料科學、物理學領域的分析儀器，於2013年10月30日啟用。
基本介紹
- 中文名：3D測量雷射共聚顯微鏡
- 產地：日本
- 學科領域：材料科學、物理學
- 啟用日期：2013年10月30日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 雷射共焦顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
1、配置5×、10×、20×、50×和100×物鏡；100×100mm超音波電動載物台；1-8倍光學變焦； 2、放大倍數100×到17200×，水平方向解析度0.12μm，Z軸方向解析度0.8nm； 3、顯微鏡最大視野5120×5120mm；最多可實現500幅圖像自動拼圖。
主要功能
可獲得高分辨的二維表面顯微形貌；可觀察樣品表面亞μm程度（0.2μm）的三維形態和形貌；可測量多種微小尺寸，如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長度、線粗糙度、面粗糙度等等。
