《2.4GHz以上頻率的聲表面波材料和濾波器研究》是曾飛於2013年7月25日編制的科技報告。
基本介紹
- 中文名：2.4GHz以上頻率的聲表面波材料和濾波器研究
- 作者： 曾飛
- 編制時間：2013年7月25日
- 報告類型：最終報告
內容摘要
本研究主要內容包括（1）Fe、V、Cr等元素摻雜對ZnO壓電性能、以及Cr摻雜對AlN壓電性能的影響，其中Fe、V或者Cr摻雜改性的ZnO壓電薄膜的D33可以達到110~130 pC/N，比純ZnO的壓電係數高一個數量級；高壓電性能的ZnO薄膜可以導致器件的機電耦合係數提高近一倍。摻雜改性的ZnO薄膜電阻率最大達到1.1×1010Ωcm。（2）金剛石/ZnO/Al薄膜表面粗糙度可以達到1.4 納米。製備出“金剛石/ZnO/Al”多層結構薄膜，薄膜應力接近於0，適合中、高頻器件的使用； （3）製作出中心頻率為4.16 GHz的SAW濾波器。（4） 通過技術轉移形成高頻聲表面波濾波器的示範生產線。 研究採用納米金屬過渡層和微合金化的方法，有效提高了叉指電極材料的功率耐受性、抗電遷移性和有效刻蝕性，同時薄膜的應力大幅降低，有利於聲表面波的傳播。研究採用“金剛石/ZnO/叉指電極”的結構製作聲表面波濾波器，利用金剛石的聲速提高聲表面波的傳輸速度，從而提高中心頻率，是國際上先進的SAW器件的發展方向。研究3採用過渡金屬摻雜ZnO的方法，將ZnO的壓電係數提高了一個數量級，機電耦合係數提高近一倍。
