黃光(光刻工藝)

黃光是在半導體行業里,將矽片等晶片進行塗膠、軟烘、曝光、顯影、硬烤,使其光刻出一定圖形的工藝。

基本介紹

  • 中文名:黃光
  • 性質:光刻工藝
  • 作用:精細電路的製程工藝之一
  • 套用行業:半導體行業
黃光是精細電路的製程工藝之一。

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