高純背密封減壓閥多用於高純氣體、半導體行業。
基本介紹
- 中文名：高純背密封減壓閥
- 套用範圍：高純氣體、半導體行業
- 表面光潔度：10Ra/5Ra微英寸〔0.25/0.13μm〕
- 進口壓力：3500psig/241barg
- 等級：BA或EP
特徵,規格,
特徵
無彈簧螺紋設計
無死角設計
背密封設計
316L VOD/AOD/VIM 或 316L VIM/VAR閥體
Hastelloy C-22膜片
多種壓力表接口選擇
多種接口形式選擇
規格
出口壓力∶1-30，1-60，1-100，1-150psig
〔1-2.1, 1-4.2, 1-7.0, 1-10.5barg〕
工作溫度範圍∶
PCTFE∶-40oF/-40oC至140oF/60oC
Vepel∶ -40oF/-40oC至350oF/177oC
