高純砷烷

高純砷烷是一種化學物質，在常溫常壓下有大蒜氣味，為劇毒可燃氣體。

特性

純度99 . 995 }R,。在空氣中易燃燒並發生爆炸。一般由A。與7.r，合成生成:}sa}r1;再與H}SC7-0反應生成Gn}U;和AsH; ,冉經兒步純化、液化而得。在半導體_L業中用於外延,n型摻雜、擴散和離了拄人「藝。以及磷砷化稼薄膜的生產。