高純氣體系統用高準度閥

高純氣體系統用高準度閥，氣體工業名詞，用於極準確調節流速，特別適用於流速小於1000mLmin的場合。

基本介紹

• 中文名：高純氣體系統用高準度閥
• 類型：氣體工業名詞
• 特別適用：流速小於1000mLmin
• 生產單位 ：美國Scott特氣公司

由於閥桿與孔組件的特殊設計，可實現極小流量的準確調節。可以轉換閥桿孔組件以適應不同流量的要求。美國Scott特氣公司生產的高準度閥有6種孔徑，對應氣體流量分別為(mLmin)：200，400，760，2700，6500，21000。