高純氣體系統用波紋管閥 氣體工業名詞,其工作原理是當手柄轉動時,帶動與閥桿關聯的閥頭組件達到開啟閥門的目的。靠波紋管使介質與大氣隔開。是一種無填料的閥門。密封性能可靠,但結構複雜,造價高,與膜片閥相比,其死體積大。