高純氣體系統用氣體過濾器

基本介紹

• 中文名：高純氣體系統用氣體過濾器
• 外文名：UsedinHighPurityGasSystemGasFilter
• 粒子：<1個L
• 定義：截獲機理將氣體中粒子過濾掉

高純氣體系統用氣體過濾器(UsedinHighPurityGasSystemGasFilter)

氣體工業名詞，是依據碰撞，擴散和截獲機理將氣體中粒子過濾掉的裝置。積體電路發展到兆位級後，對超淨提出了更嚴格要求。SEMI標準對10011級以管道供給的氮和氬氣中規定≥011Lm粒子≤014個L；16MDRAM用氣中>011Lm的粒子<1個L。在超高純氣體或電子氣體供氣系統中，為了脫除由於振動或氣流衝擊所造成的脫落粒子，應在閥門和配件下游和使用氣前安裝過濾器。粒子過濾器的選型及規格視氣體控制規範而定。過濾器殼體一般採用316不鏽鋼，濾芯有燒結的多孔金屬濾芯，耐腐蝕耐熱的鎳基合金，100%鎳合金，鋁陶瓷，Teflon膜，陶瓷膜等。