高空間解析度多功能橢圓偏振光譜儀是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的分析儀器，於2019年9月26日啟用。技術指標 光譜範圍210-1690nm，1067個波長點；準確性：Psi=45°±0.075°，Delta=0°±0.05°；2nm的自然氧化層（矽片）30...
高精度橢圓偏振光譜儀是一種用於物理學、自然科學相關工程與技術、材料科學領域的物理性能測試儀器，於2017年11月2日啟用。技術指標 光譜測量範圍從200-1700nm； 光斑直徑達300um； 測量角度自動/手動調節； 樣品台自動升降。主要功能 測...
