高真空技術

高真空

真空是指在指定空間內低於環境大氣壓力的氣體狀態，也就是該空間氣體分子數密度低於該地區大氣壓的氣體分子數密度。不同的真空狀態，就意味著該空間具有不同的分子數密度。高真空是指氣體壓力範圍在10～10Pa 的真空區域。在該範圍內分子數密度約為10cm， 處於過渡流-分子流狀態，分子平均自由程約為10m。

獲得方法

真空的獲得通過真空泵來實現。常用的高真空泵有擴散泵、分子泵、濺射離子泵、低溫泵等。這些泵不能直接對大氣抽氣，需要用其它的泵抽到一定真空度後才能工作，抽預備真空的泵也叫預抽泵或前級維持泵。

測量儀表

用來測量真空度或氣體壓力的儀器叫真空計。測量高真空的真空計通常採用將氣體分子電離的方法來進行測量，高真空計主要有電離規、BA規、轉子規等。

技術套用

在高真空中由於分子平均自由程大於容器線度，可以避免分子間的碰撞，通常用於電真空器件、加速器、儲能環、蒸發鍍膜、電子束加工等。