高品質石墨烯設備

高品質石墨烯設備是一種用於化學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2016年11月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：高品質石墨烯設備
• 產地：英國
• 學科領域：化學、材料科學
• 啟用日期：2016年11月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

1.等離子增強和熱耦化學氣相沉積生長方式兼容，對生長基底具有電漿預清潔功能； 2.反應腔室有4英寸； 3.溫度可達1200℃，升溫速率可達300℃/分鐘，基底表面溫度均勻性5%以內，且生長基底表面溫度可以通過紅外系統控制或監測。

主要功能

目前國內外生長研究用於說石墨烯和碳納米管材料的基本設備，尤其是在新型層狀二維納米材料領域，穩定可靠的材料獲得是研究的基礎。