高功率脈衝磁控濺射系統

高功率脈衝磁控濺射系統是一種用於機械工程領域的科學儀器，於2016年5月3日啟用。

基本介紹

• 中文名：高功率脈衝磁控濺射系統
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2016年5月3日

技術指標

極限壓強：優於5×10-4Pa； 抽速：大氣到5×10-3Pa抽氣時間小於25分鐘 升壓率：≦0.4Pa/hr 可以實現高功率磁控濺射功能 工藝過程自動控制和手動控制結合。

主要功能

用於各種新型多功能塗層的研發及小批量試製。