靜態重複性

靜態重複性指的是依次對同一個被測量圖形進行測量所得到的平均測量值變化。

基本介紹

• 中文名：靜態重複性
• 外文名：static repeatability

測量圖形時，每次按照相同的裝片、晶片對準、工作檯移動到測量位置、定位測量圖形、測量及卸片等操作過程所獲得的圖形寬度測量值應吻合一致，即在相同測量方法步驟、相同觀測者、相同測量儀器、相同場所、相同工作條件和短時期內，對同一個被測量圖形進行連續測量後所得到的結果之間的一致程度。