霍爾效應測量系統主要由恆電流源、范德堡法則終端轉換器、低溫(77k)測量系統及磁場強度輸入系統組成，擁有研究半導體材料霍爾效應所有的部件和配置，是一套非常成熟的儀器系統。
基本介紹
- 中文名：霍爾效應測量系統
- 外文名：hall effect measurement system
- 作用：測量霍爾效應
- 定義：將霍爾效應轉換為信號的感測器
- 組成元素：電源、轉換器、測量及輸入系統等
特性,參數,套用,
特性
1、可靠的精度及重現性 恆電流源(1na~20ma)採用六級電流範圍設定，將可以接收的誤差降到最低；范德堡法則轉換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲；軟硬體有針對性的設計，確保每個實驗數據均為多次測試的平均值，使儀器擁有非常好的數據重現性。 2、產品小型化及操作簡單化 小尺寸的磁場強度輸入系統使用永磁體和液氮低溫測量系統(77k)，確保儀器操作非常簡單；兩種不同尺寸的傳統樣品板(20*20mm、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(spcb)，使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測量，區別於傳統樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極製作更方便且對樣品損傷更小。 3、i-v曲線及i-r曲線測量 採用圖表的方式，測量探針四點(a、b、c、d)間電流-電壓及電流-電阻關係，並以此評判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學特性。 4、多樣的實驗結果 實驗結果由軟體自動計算得到，可同時得到體載流子濃度(bulk carrier concentration)、表面載流子濃度(sheet carrier concentration)、遷移率(mobility)、電阻率(resistivity)、霍爾係數(hall coefficient)、磁致電阻(magnetoresistance)、電阻的縱橫比率(vertical/horizontal ratio of resistance)等等。
參數
電流源: 測量範圍: 1na - 10 ma 輸出電壓: +/- 10v (+/-20v) 輸出電阻: typical 1013 ohms 電流解析度: 25 pa 電壓測量： 測量範圍: 10 mv - 10v（自動量程選擇） 解析度 : <500nv 輸入電阻: > 1013 ohms 磁場範圍：0.45t~2t（牛津磁體）； 電阻測量範圍: 1x10-3 ohm - 1x109 ohm 電阻率測量範圍: 1 x10-5 ohm*cm - 1x107 ohm*cm 載流子濃度範圍: 107 cm-3 - 1021 cm-3
