《電漿技術與套用實驗教程》是2014年11月化學工業出版社出版的圖書，作者是馬志斌、付秋明、鄭志榮。
基本介紹
- 書名：電漿技術與套用實驗教程
- 作者：馬志斌、付秋明、鄭志榮
- ISBN：9787122216045
- 頁數：169頁
- 定價：30元
- 出版社：化學工業出版社
- 出版時間：2014年11月
- 裝幀：平裝
- 開本：16開
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《電漿技術與套用實驗教程》內容涵蓋電漿技術典型套用和電漿技術領域最新進展，把電漿技術的理論知識與實踐教學有機結合起來，設計實驗教學體系並配套搭建電漿技術實驗教學平台，培養學生從事科研工作的興趣，提高學生的創新意識和能力。全書分為四大部分，第一部分為電漿基本原理實驗，第二部分為電漿在材料工程中的套用，第三部分為電漿在微電子中的套用，第四部分為電漿在環境工程中的套用。
本書可作為理工科院校材料、物理、化學、環境等相關專業本科生、研究生的實驗教材，也可供從事電漿技術套用的工程技術人員使用和參考。
圖書目錄
第一部分：電漿基本原理實驗
實驗一 直流低氣壓放電現象觀察及伏安曲線的測量
實驗二 氣體擊穿電壓的測定及帕邢定律驗證
實驗三 湯森第一電離係數α及比值α/p的測定
實驗四 直流輝光放電電漿參數的測量
實驗五 射頻電漿的激發特性研究
實驗六 非磁化微波電漿電子參數的測量
實驗七 ECR微波電漿離子參數的測量
第二部分:電漿在材料工程中的套用
實驗八 微波電漿化學氣相沉積實驗--形核研究
實驗九 微波電漿化學氣相沉積金剛石薄膜實驗
實驗十 直流電漿濺射製備碳膜實驗
實驗十一 微波電漿燒結氧化鋁陶瓷實驗
實驗十二 微波電漿冶金實驗
實驗十三 常壓微波電漿引發聚合實驗
實驗十四 微波電漿射流製備納米矽及其螢光特性研究
實驗十五 直流輝光電漿表面改性實驗
實驗十六 電漿滲氮硬化金屬表面實驗
實驗十七 微波電漿化學氣相沉積法低溫合成碳納米管
實驗十八 納米TiO2薄膜的微波電漿改性
實驗十九 空心微珠表面磁控濺射鍍金屬銅膜
第三部分:電漿在微電子中的套用
實驗二十 ECR微波電漿刻蝕加工實驗
實驗二十一 微波電漿CVD製備多晶矽薄膜太陽能電池實驗
實驗二十二 電漿發射光譜分析實驗
實驗二十三 電子束蒸發鍍膜與薄膜光學特性分析
第四部分：電漿在環境工程中的套用
實驗二十四 電暈電漿處理有機廢水的退色實驗
實驗二十五 電暈電漿處理對有機廢水化學需氧量(COD)的影響
實驗二十六 常壓微波電漿射流處理有機工業廢氣實驗
實驗二十七 常壓微波電漿射流處理含硫廢氣實驗
實驗二十八 低溫射頻電漿殺菌消毒實驗
