本書系統地介紹了電容式微機械陀螺的結構設計、基於表面加工wafer級真空封裝工藝，著重分析了陀螺儀中閉環自振盪方法、角速率信號解調算法及電路實現，最後對微機械陀螺振盪品質因子、解析度、工作頻寬、靈敏度和線性度等關鍵參數的測試方法作了詳細的分析和闡述。
本書可供高等院校有關專業作為研究生教材或參考書，也可供科研人員和工程技術人員作為技術參考書。
基本介紹
- 書名：電容式微機械陀螺儀設計
- 作者：李錦明
- 頁數：182
- 出版時間：2006
- 裝幀：平裝
- 開本：32
目錄
第一章 緒論
第二章 電容式微機械陀螺的結構設計與加工
第三章 電容式微機械陀螺信號處理方法的研究及仿真
第四章 電容式微機械陀螺接口電路的設計與仿真
第五章 電容式微機械陀螺的性能測試
附錄一 電容式微機械陀螺的電原理圖
附錄二 電容式微機械陀螺的SIMULINK仿真的部分代碼
參考文獻
