電容式差壓感測器

電容式差壓感測器的結構如圖所示。將左右對稱的不鏽鋼基座2、3的外側加工成環狀波紋溝槽，餅焊上波紋隔離膜片1、4。基座內側有玻璃層5，基座和玻璃層中央都有孔。玻璃層內表面磨成凹球面，球面邊緣鍍以金屬膜6，此金屬膜層有導線通向外部，為電容的左右定極板。左右對稱的上述結構中央夾入並焊接彈性平膜片，即測量膜片7，為電容的中央動極板。測量膜片左右空間被分割成兩個室，固有糧食結構之稱。

電容式差壓感測器結構圖

在測量膜片的左右兩室中充滿矽油，當左右隔離膜片分別承受高壓pH和低壓pL時，矽油的不可壓縮性和流動性便能將差壓Δp=pH-pL傳遞到測量膜片的左右面上。因為測量膜片在焊接前加有預張力，所以當差壓Δp=0時十分平整，使得定極板左右兩電容的容量完全相等，即CH=CL，電容量的差值為零。在有差壓作用時，測量膜片發生變形，也就是動極板向低壓極板靠近，同時遠離高壓測定極板，使得電容CH=CL。