電容位移感測器

電容位移感測器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。

基本介紹

• 中文名：電容位移感測器
• 量    程：初始間隙δo與感測器電極板do
• 頻帶可調：50～5000Hz
• 體    積：19cm×12cm×8cm

儀器簡介

電容位移感測器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。在國內研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛套用，成為科研、教學和生產中一種不可缺少的測試儀器。主要類型為ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-CⅡ型、FW-C1型。

儀器特點

1.旋轉軸的徑向跳動，軸向竄動和迴轉精度；

2.往復機構的運動特性和重複定位精度；3.正弦波激振和脈激振中振動測量；

電容位移感測器

4.機器零部件相對振動相對變形；

5.盤類零件的端面振擺；

6.軸承間隙和油膜厚度；

7.檢測零部件尺寸和平直度；

8.線切割工具機電極絲的振動；

9.工具機主軸熱位移與動態載入試驗測量；

10.也可用於金屬導體之外的絕緣物體（如大理石、塑膠、砂輪、玻璃、陶瓷等）的振動、位移測量。

技術參數

量 程：初始間隙δo與感測器電極板do

分 辨 率：0.01nm 零磁滯

非 線 性：±0.25%FSO

頻帶可調：50～5000Hz

靈敏度可調：5～125μm/V

輸出信號：0—±5.0V

零 漂：≤±0.25%FSO

電 源：±15V

體 積：19cm×12cm×8cm

優缺點

優點

電容位移感測器能實現無接觸測量。它採用合適的檢測電路，做到靈敏度高、分辨力強、能分辨微小的位移。還有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便。

缺點

電容位移感測器的量程比較小，一般只有幾十個毫米，容易受外界干擾和分布參數的影響。

使用方法

頻率校準

接好聯線，將電極板擰入感測器探頭頭部，並使之遠離物體，按下“校準”鍵，這時有電壓輸出，預熱20分鐘，調節“調零”旋扭，使輸出回到零點。

安裝感測器，調整初始間隙，進行測量

按下測量鍵，將感測器藉助彈性夾套安裝到磁表座（或用戶自製專用夾具）上，使測量電極板端面接近被測物體的表面，平面或圓柱面，儘可能平行，球面儘可能對中，調整的初始間隙見表1（參考值），調整時有“+”電壓輸出，反時針轉動感測器微調螺母，使測量間隙逐漸增大，輸出電壓會逐漸接近零點，藉助“調零”旋扭細調，使輸出精確為0，調整時有“—”電壓輸出，順時針轉動微調螺母，使測量間隙逐漸減小，輸出電壓會逐漸接近零點，測量即可開始。測量時，被測物體表面接近感測器，測量間隙減小，表示被測尺寸增加，輸出為“+”電壓，反之輸出為“—”電壓，儀器輸出的“+、—”電壓就是相對應量程的靜態位移。

與通用表連線

儀器兩種量程的滿量程電壓輸出都是0—±5.0V（線性區），可與各種高輸入阻抗儀表（計算機、電壓表、示波器、頻率計、FFT波形分析處理等）聯接。

注意事項

1.本儀器屬精密測量儀器，固定感測器支架要有足夠的剛性，感測器調整好，讓其穩定一段時間，消除支架的機械蠕變再開始測量。

2.測量過程中儘量不要挪動感測器的聯接電纜，使電纜自然放置。

配套件

1.放大器

2.外接振盪器

3.感測器 （包括彈性夾套、塑膠保護套、電極板)

4.5芯電纜線

5.外接振盪器與儀器本體聯線

6.接地線

7.使用說明書

8.包裝箱