電子阻止本領是原子電子對重帶電粒子損失的能量稱電子阻止本領。
基本介紹
- 中文名：電子阻止本領
- 外文名：Electron stopping power
- 單位：兆電子伏/米
- 屬性：描述電子損失能量程度的量度
- 範圍：離子注入技術
- 相關：核阻止本領
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簡介
電子阻止本領是離子注入技術中的一個術語。
對半導體等襯底進行離子注入時，進入襯底中的較高能量的離子，與襯底中的原子核和電子都將進行一系列的碰撞而損失能量，並最後停留在襯底內，形成一定的分布。這實際上就表明襯底中的原子核和電子都對注入的離子具有阻止作用。其中電子阻止作用的能力大小可用S（E）=dE/dx來表征[E是電子在某點x處的能量]，這就是電子阻止本領。S（E）與入射離子的速度成正比，即有S（E）∝E。因此，對於注入能量越高的離子，電子阻止本領也就越大；注入離子的質量越小，電子阻止本領相對於原子核的阻止本領也將越強。
阻止本領
阻止本領是帶電粒子在單位路程上電離損失能量的量度。原子電子對重帶電粒子損失的能量稱電子阻止本領；原子核對重離子能量的損失稱核阻止本領。阻止本領是描述帶電粒子損失能量程度的量度，其量度單位是兆電子伏/米（Mev/m）。
相關名詞
匯流排阻止本領
匯流排阻止本領符號為S，St；對於一個沿x方向運動的能量為E的帶電電離粒子，S=-dE/dx。此量還可稱為阻止本領，它包括碰撞損失和輻射損失兩部分。核反應和電離輻射的量。SI單位：J/m（焦〔耳〕每米）。並用的非SI單位：eV/m（電子伏每米）。1eV/m=（1.60217733±0.00000049）×10-19J/m。某種物質的匯流排阻止本領對參考物質的匯流排阻止本領的比值稱為相對線阻止本領。
總原子阻止本領
總原子阻止本領符號為Sa；Sa=S/n。式中：S為匯流排阻止本領；n為物質的原子數密度。核反應和電離輻射的量。SI單位：J·m2（焦〔耳〕二次方米）。並用的非SI單位：eV·m（電子伏二次方米）。1eV·m2=（1.60217733±0.00000049）×10-19J·m2。
總質量阻止本領
總質量阻止本領符號為Sm；匯流排阻止本領除以物質的質量密度。Sm=S/ρ。核反應和電離輻射的量。SI單位：J·m2/kg（焦〔耳〕二次方米每千克）。並用的非SI單位：eV·m2/kg（電子伏二次方米每千克）。1eV·m2/kg=（1.60217733±0.00000049）×10-19J·m2/kg。某種物質的總質量阻止本領對參考物質的總質量阻止本領的比值稱為相對質量阻止本領。
