電子輻照（Electron irradiation）技術是採用高能電子束來照射材料、以改善材料性能的一種技術。
基本介紹
- 中文名：電子輻照技術
- 外文名：Electron irradiation
- 屬性：一種技術
- 過程：高能電子束來照射材料
- 目的：以改善材料性能
- 過程：實現控制少數載流子壽命
在微電子技術中，電子輻照即是用高能電子照射半導體來實現控制少數載流子壽命的目的。由於高能電子輻照能引起晶體原子位移而產生出深能級的複合中心，故電子輻照可用來控制載流子壽命。例如，電子輻照可在矽中產生兩個能級，一個是在價帶頂以上0.4eV的受主型能級，另一個是在導帶底以下0.36 eV的施主型能級。
