電子薄膜用高純鈷靶材

《電子薄膜用高純鈷靶材》是2015年10月1日實施的行業標準。

基本介紹

• 中文名：電子薄膜用高純鈷靶材 
• 標準號：YS/T 1053-2015
• 技術歸口：全國有色金屬標準化技術委員會
• 發布日期：2015-04-30
• 批准發布部門：工業和信息化部
• 實施日期：2015-10-01

適用範圍

本標準適用於電子薄膜製造用的各類高純鈷靶。

起草單位

寧波江豐電子材料股份有限公司，有研億金新材料有限公司。

起草人

王學澤、李勇軍、鄭文翔等。