電子能量損失圖譜法

電子能量損失圖譜法是利用入射電子束在試樣中發生非彈性散射，電子損失的能量DE直接反應了發生散射的機制、試樣的化學組成以及厚度等信息，因而能夠對薄試樣微區的元素組成、化學鍵及電子結構等進行分析。分析的空間解析度高，僅僅取決於入射電子束與試樣的互作用體積。

在實際套用中，例如分析細小析出粒子時，衍射束強度有時很弱，由於被強的非彈性散射電子覆蓋而往往難以辨認，如能獲得能量過濾的衍射花樣則可以清晰顯示這些微弱的衍射斑。在進行會聚束衍射(CBED)工作時,能量過濾技術更是具有不可忽視的重要作用。