電子背散射衍射儀

一種通過探測電子背散射衍射花樣來確定晶體特徵信息的儀器，簡稱EBSD。一般與掃描電鏡等大型儀器設備使用。是一種揭示晶體材料微觀結構的十分有效方法。

基本介紹

• 中文名：電子背散射衍射儀
• 簡稱：EBSD
• 功能：揭示晶體材料微觀結構
• 套用：微區的晶體取向分析、相鑑定、

原理

當入射電子束在晶體樣品中產生散射時，在晶體內向空間所有方向發射散射電子波。如果這些散射電子波和晶體中某一晶面之間恰好符合布拉格衍射條件將發生衍射，這就是電子背散射衍射。電子背散射衍射花樣通過螢光探頭接收，並最終轉化為數據結果。

套用

電子背散射衍射分析技術套用於微區的晶體取向分析、相鑑定、應變分析和織構分析等領域。